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深圳市騰盛精密裝備股份有限公司

超精密晶圓級(jí)封裝點(diǎn)膠，兼容8~12英寸Wafer，重復(fù)定位精度±3μm。

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定制咨詢

1、高精度，XY模組采用U形直線電機(jī)，重復(fù)精度≤±3μm；
2、高穩(wěn)定性，采用一體式鑄件機(jī)構(gòu)，具有良好的吸震性；
3、全自動(dòng)，搭載設(shè)備前端模塊（ EFEM ），可實(shí)現(xiàn)晶圓自動(dòng)上下料。

適用于晶圓級(jí)Underfill/ Coating工藝